相對(duì)解決方法：1、提高蝕刻溫度對(duì)工藝規(guī)定范圍；2、適當(dāng)延長蝕刻時(shí)間，在蝕刻前應(yīng)通過實(shí)驗(yàn)測定蝕刻速度，并以此來確定正確的蝕刻時(shí)間；3、腐蝕液在蝕刻過程中消耗大，成分變化快，為保證蝕刻速度的穩(wěn)定，必須要經(jīng)常對(duì)蝕刻液進(jìn)行分析，批量生產(chǎn)應(yīng)每天分析一次或一次以上，并根據(jù)分析結(jié)果及時(shí)補(bǔ)充到工藝規(guī)定范圍。